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Résonance Cyclotronique Electronique

Cette technologie consiste à activer un gaz à température ambiante par une décharge électrique à haute fréquence. Dans notre cas, cette activation est réalisée par des applicateurs magnétiques micro-ondes qui créent le plasma, à la résonance cyclotronique électronique (RCE). Le principe consiste à superposer à l'onde électromagnétique de fréquence v un champ magnétique statique B0 perpendiculaire au champ électrique de l'onde de telle sorte que la fréquence de giration des électrons dans le champ magnétique soit égale à la fréquence de l'onde excitatrice. Lorsque le phénomène de résonance se produit, les électrons gagnent de l'énergie et, par collision, ionisent et dissocient le gaz, d'où création du plasma.